水分是影響高純氮（N? ≥ 99.999%）應用性能的關鍵雜質之一。在精密電子封裝、激光器填充或金屬熱處理過程中，即使數 ppm 級的水汽也可能導致氧化、腐蝕或工藝失效。

GB/T 8979—2008 規定高純氮中水含量 ≤ 3 × 10??（體積分數），并明確推薦采用露點法（GB/T 5832.2）作為仲裁檢測方法。

露點法通過冷卻鏡面直至氣體中水蒸氣開始凝結，此時鏡面溫度即為露點溫度，再根據氣體壓力換算為水含量。該方法直接、物理意義明確，且不受其他氣體組分干擾，特別適用于高純惰性氣體中微量水分的測定。

現代冷鏡式露點儀可實現自動控溫、圖像識別凝露點，測量精度可達 ±0.1℃ 露點，對應水含量誤差小于 ±0.2 × 10??。

檢測時需注意：樣品氣流速應穩定（通常100–300 mL/min），避免湍流影響鏡面熱平衡；管路必須徹底干燥，建議使用電拋光不銹鋼或鈍化銅管；對于液氮汽化樣品，需確保完全氣化并恒溫后再進入儀器，防止液滴沖擊鏡面。

值得注意的是，電解法（GB/T 5832.1）雖可用于日常監控，但易受氣體中其他可電解物質干擾，故標準規定當結果存在爭議時，以露點法為準。這一規定凸顯了露點法在高純氣體水分檢測中的權威地位。