在高純氧氣的應用中，二氧化碳（CO?）和碳氫化合物（總烴，THC）雖含量極低，卻可能對敏感工藝造成顯著影響。

例如，在半導體制造中，CO?可能參與表面反應，影響薄膜純度；而烴類物質在富氧環境中存在燃燒或爆炸風險。

因此，GB/T 14599—2008 對這兩項雜質設定了明確限值：超純氧中 CO? 和 THC 均不得超過0.1×10??（體積分數）。

標準第4.4條和第4.5條分別規定了CO?與總烴的檢測方法，均基于氣相色譜技術，并引用 GB/T 8984《氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定 氣相色譜法》作為通用依據。

對于二氧化碳測定，標準推薦使用配備甲烷化轉化器和氫火焰離子化檢測器（FID） 的氣相色譜儀。由于FID對CO?無響應，需先將CO?在鎳催化劑作用下加氫轉化為甲烷，再由FID檢測。

為消除大量氧氣對色譜系統的干擾，儀器需配置切割流程，在CO?出峰前將氧峰切出系統。色譜柱通常采用2米長的硅膠柱，標準氣體濃度范圍為1–5×10??。

總烴測定則直接利用FID對所有含碳有機物的響應特性，結果以甲烷當量表示。該方法可有效反映氧氣中各類烴類雜質的總量，適用于評估壓縮機潤滑油揮發、密封材料釋放等潛在污染源。

采樣過程中，必須使用金屬連接管路，避免塑料或橡膠材料釋放有機物；樣品氣需充分置換管路，確保代表性。兩次重復測定的峰面積相對偏差應控制在5%以內。

通過建立規范的CO?與THC檢測程序，有助于識別生產或儲運環節中的污染風險，為高純氧氣在高端領域的安全應用提供數據支持。